氦質(zhì)譜檢漏儀是一種專門用于檢測氦氣的質(zhì)譜儀，是一種高精度的氣體分析儀器，可以檢測極小濃度的氦氣。其內(nèi)部有一套高真空系統(tǒng)，以及一個與其相連的質(zhì)譜室。外界的氣體進入到檢漏儀質(zhì)譜室后，首先會在離子源處被電離，產(chǎn)生離子。氣體離子被加速后進入磁場，其路徑會被偏轉(zhuǎn)，由于不同的離子荷質(zhì)比不同，偏轉(zhuǎn)半徑也不同。在合適的地方設(shè)置一個狹縫，就可以僅讓示蹤氣體（氦氣）的離子通過并到達收集極。收集極得到的離子流信號和進入檢漏儀的氦氣量多少，即泄露率的大小成正比。通過測量該信號，就可以測量泄漏率。