1 精度高，氦質(zhì)譜檢漏可以達(dá)到 5E-12 mbarL/s 甚至更高的精度，可以通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)漏孔進(jìn)行計(jì)量，并且重復(fù)性非常好。

2 快速，盡快定位并修復(fù)漏點(diǎn)可以節(jié)省時(shí)間。氦質(zhì)譜檢漏能夠快速得到結(jié)果，響應(yīng)時(shí)間一般僅需幾秒至幾十秒。

3 可定位漏點(diǎn)，噴氦法，吸槍法等比較常見(jiàn)的氦質(zhì)譜檢漏方法可以確定泄漏的位置，便于后期處理漏孔或改進(jìn)工藝。

4 不受溫度、產(chǎn)品形變、內(nèi)表面放氣等的影響，不會(huì)弄濕或污染工件。