氦質(zhì)譜檢漏的基本原理是利用氦氣的低滲透性和惰性來(lái)檢測(cè)工件的泄漏情況。將氦氣注入待檢工件中，并將氦檢儀器連接到泄漏點(diǎn)附近。通過(guò)控制氦氣的流量和壓力，使得氦氣從泄漏處滲透出來(lái)并擴(kuò)散到周?chē)h(huán)境中。同時(shí)，氦檢儀器會(huì)實(shí)時(shí)檢測(cè)周?chē)h(huán)境中氦氣濃度變化。當(dāng)檢測(cè)到氦氣濃度超過(guò)設(shè)定的閾值時(shí)，就可以確定泄漏的位置和大小。

常用的氦檢方法有：

1 常壓累積氦檢法

2 真空氦檢法

3 吸槍法

4 噴氦法（負(fù)壓法）

5 壓氦法