真空檢漏儀UL3000 Fab，PLUS、ULTRA

憑借我們大獲成功的最新一代UL系列智能產(chǎn)品，將為您的工藝設(shè)備減少維護(hù)，甚至比從前更加安全。在泄漏檢測(cè)期間，您的處理設(shè)備將不會(huì)受到污染。所有泄漏都將被可靠地檢測(cè)出來。維護(hù)后，一定能夠通過耗時(shí)的壓力上升測(cè)試。

UL3000 Fab干式氦檢漏儀的設(shè)計(jì)適用于需要最高清潔度的各種應(yīng)用，例如，清潔室內(nèi)半導(dǎo)體制造設(shè)備的維護(hù)和生產(chǎn)。

優(yōu)勢(shì)

?節(jié)省時(shí)間

通過I·CAL軟件算法節(jié)省時(shí)間，實(shí)現(xiàn)快速測(cè)量，測(cè)量范圍為10-9 - 10-12 mbar l/s。

?檢測(cè)效率高

I·ZERO 2.0適用于快速背景抑制。抽空和響應(yīng)速度快，將泄漏工作量降至最低。

?高成本效益

采用功能強(qiáng)大的離子源和逆流真空系統(tǒng)，低使用成本。

?易于使用和集成

配備全彩高清可旋轉(zhuǎn)顯示屏的HMI界面，使用簡(jiǎn)便，提供直觀操作指導(dǎo)。

應(yīng)用

?半導(dǎo)體行業(yè)

?太陽能行業(yè)

?激光技術(shù)

?醫(yī)療技術(shù)

?以及電子器件、加速器、涂層系統(tǒng)、氣體供應(yīng)系統(tǒng)、顯示工具、密封電子設(shè)備的泄漏檢測(cè)等