INFICON Edge 電容膜片真空計屬于高精準真空測量儀器，專為 苛刻的生產環(huán)境而設計。經驗證的溫度控制、防腐蝕超純陶瓷傳感器可長期提供 卓越的滿量程穩(wěn)定性和最先進的零點穩(wěn)定性。Edge 采用 INFICON 獲得專利的 獨特傳感器屏蔽，可保護真空計在使用過程中產生不需要的附帶結果。 先進的電子設備為所有應用提供各種可配置的信號條件以及可選的 EtherCAT 現場總線接口。 創(chuàng)新的加熱概念確保了冰涼的接觸表面并節(jié)省了寶貴的工具空間。 INFICON Edge 是同類產品中體積最小的真空測量儀器。

Edge CDG045D2 1 … 1000 托 / 毫巴

Edge CDG100D2 1 … 1000 托 / 毫巴

益處

• 設計緊湊，節(jié)省寶貴的工具空間

• 易于集成，EtherCAT，各種滿刻度和法蘭，標配兩個設定點

• 輕松一鍵調零或遠程信號調零指令，可調零點偏移

• 診斷端口用于快速維修和維護

• 兩年保修服務，先進的加熱概念和真空計保護延長了使用壽命

• 卓越的信號穩(wěn)定性和可重復性，即使是最苛刻的等離子應用，都無需長期執(zhí)行重新校準

• 合規(guī)性與標準：CE、EN、UL、SEMI、RoHS

典型應用

• 用于 CVD、刻蝕、PVD 和其他半導體制造過程